Разработка новых методов исследования приповерхностных слоев и многослойных структур в рентгеновском диапазоне (5-25 кВ)

Рейтинги поисковых систем Ключевые слова:
Google.com
X-ray refractometer
X-ray dispersion, diamond prism
Yandex.ru
Туннелирование рентгеновских фотонов
Рентгеновская рефрактометрия

Профессиональные измерения параметров тонких пленок и слоистых структур

· толщина 1-300 нм

· период структуры

· шероховатость поверхности

 и интерфейсов

· физическая плотность

· радиус кривизны